具体是将入射光照射在透镜表面的小探针上,然后探针表面的电子就会有序的震荡,从而激发产生波长非常短的等离子体,然后在光刻胶上刻出非常小的图形
而ASML的光刻机,是将激光束经过一些列反射整形后,过滤掉衍射,然后投射经过光刻模板,再投射到硅片上
一直用的这个品牌的,质量非常好,还没上手用新买的,希望能够好用,一次买了两个,办公方便。
例如,该光刻机已制备出一系列纳米功能器件,包括大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器、切伦科夫辐射器件、生化传感芯片、超表面成像器件等,验证了该装备纳米功能器件加工能力,已达到实用化水平
制造的相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、电子科技大学太赫兹科学技术研究中心、四川大学华西医院、中科院微系统所信息功能材料国家重点实验室等多家科研院所和高校的重大研究任务中取得应用
可以的,外观漂亮且做工不错很结实,质量应该不错。用PowerDVD播放蓝光原碟很顺畅,画质也不错。刻录了一张25G和50G的蓝光碟,都刻录得很顺利。刻录的数据是之前自己收藏的蓝光原碟用笔记本蓝光BD-ROM光驱抓轨的iso镜像,刻录完后塞到客厅的蓝光影碟机里播放也很顺畅。作为Hi-Fi影音发烧友,也是先锋这品牌的老用户,设备里有三台还在服役且音质很发烧的先锋黑胶唱机、磁带卡座和LD影碟机,一直以来这三台老设备质量都很皮实且没出过故障。没用过先锋蓝光刻录机,这次买了台功能齐全又档次高点的,希望先锋的品质能一直如一,希望这蓝光刻录机的质量也能和那几台老设备一样不出故障长久用下去! 哦对,顺便吐槽一下。收到后发现包装没有封条,虽然里面的保护膜没被动过且包裹刻录机本体的塑料纸完好,但真的挺容易会被认为是非全新(看了保护膜和螺丝孔,是全新的没问题,放心买吧)。此外,也不送个SATA数据线也是有点抠门,开始还以为是在包装盒里,然后发现包装盒里也没有…简直。还好手上有多的SATA数据线。这个希望注意一下,一条SATA数据线没多少钱就别抠门了,给来买刻录机的配一条主要也是方便买家。
另一个DUV光刻机,可以制造7nm以上的芯片,其中的DUV是深紫外光的意思,使用193nm波长的光源
所以很明显,我们的超分辨率光刻机的光源波长,要比他们大很多,这是因为技术原理上的差异导致的
超分辨率光刻机的工作原理是这样的,它采用表面等离子体超分辨光刻(surface plasma),也叫表面等离子超衍射光刻,是最近十几年兴起的一种新技术
中国光刻机终于来了
我在之前的视频里讲过,华为的光源专利,其目的就是先对强光源进行去相干处理,以达到匀光效果,这样才能保证光刻工艺的正常进行
ASML光刻机的精度跟光源的波长、物镜的数值孔径是有关系的,波长越短越好,刻机分辨率就越高,制程工艺越先进
它的验收成功,也标志着我国研制出的世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备,具有重大意义
因为,超分辨率光刻机与ASML光刻机采用了完全不同的技术路线
ASML最出名的当属EUV光刻机和DUV光刻机
EUV指的是极紫外光,它可以制造7nm以下的芯片,使用的是13.5nm波长的光源