光刻机工作台技术
两镜头光学到六镜头光学系统的差距如前文所述，德国蔡司2003年推出两镜头EUV光学系统后，3年内推出了六镜头的ADT验证机
所以，蔡司的MET光学并非欧洲的光学制造能力的上限，而长春光机所的MET曝光工具则是在采购了欧洲先进制造工具、设计工具基础之上，几乎代表了中国当时在EUV研发上的能力上限
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源
挺好的，价格公道，先锋刻录机应该是刻录机里面最好的品牌了，很早之前用过一个115ch，用到老化，也只是刻录速度变慢，从来没刻飞过，后来买了别的品牌的，简直是噩梦。京东不错，不怕买到翻新货，价格还公道，不用去电脑城挨宰和被以次充好了。
刻碟速度很快，CD碟5分钟内刻完，大品牌，质量有保障，物美价廉，值得信赖。先锋(Pioneer) 16X内置蓝光刻录机质量非常好 长期使用中 值得信赖 好评五星
外包装很精美，比联想db75好多了。先前用db75太久了，光头有点灰尘，抓出来的音频有问题，换了之后就好多了。目前没问题，各方面都很好。eac上可以直接查到偏移值，好用！
当然，由于这两个项目是2018年1月便启动的项目，先于美国的光刻机制裁，因此其立项根据、任务指标等可能与当前的光刻机困局的境况并不匹配
我相信它们依然是基于长期的攻关目标而设定的
由于该项目是2021年9月结束，我还没有查阅到相关的结题资料，所以我们可以从六镜极紫外光刻投影物镜所必需的软硬件条件开始，以及近期公开发表的论文资料，去分析其所能达到的水平
第一次自己组装电脑，选择这个骇客神条真的是百分百满意，快递包装很好，防震到位，显卡沉甸甸分量很足，做工很精良，装好一次点亮，logo.灯简约大方，体质非常不错
现在这年代还在用光驱的不多了吧，连机箱也没几个说特意有留位置的，要么就是复古机箱，非常难看……至于光驱还是信赖老牌子，用先锋我是很放心的！
读盘速度：刚开使用，读盘写盘都还是很不错的，希望一直质量不错，耐用一些就很棒了
所以如果有人解读中国已经有每小时曝光10-20晶圆的EUV原型机，它大概率是把DUV当作了EUV
而第二代MET工具通常命名为MET-5，它经常出现在我的帖子里
美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET-5极紫外曝光系统国内关于长春光机所的MET资料有限，我们不妨拿2005年的美国加州劳伦斯伯克利实验室的MET工具的性能做一个参照
因此，在大约十年时间里，长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力，使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发
而这也是篇首我们看到的王丽萍教授参与的六镜头投影系统设计和验证工作的基本背景
因此，从工业化角度而言，我国开发EUV，即便是可以省略了四镜头的ETS工程验证机的环节，六镜头的ADT演示工具应该是目前合适的攻关环节
王丽萍教授的两镜头EUV投影系统设计王丽萍教授的履历表写道：2004年毕业于长春理工大学后，于2004-2009年在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所攻读博士