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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源美国日本能造光刻机吗

以前台式机用的就是这个品牌的光驱,老品牌值得信赖。读写速度还不错,比较薄,也不占地方,刻录的功能还没试,应该不会差到哪里去。很满意。

ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机,具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学博士生导师,在她的主页上,我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究

2005年论文:美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里,我们可以清晰的看到MET工具CAD模型,它主要包括两个部分:1,从上部的同步辐射光源系统(From synchorotron)经过一个扫描单元传递至曝光装置;它相当于EUV光刻机的EUV光源系统;2,MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分:光罩台、投影光学系统晶圆台、照明台

本人电脑配光驱是并口的,现在换了新主板已经没了并口,只得配串口光驱。之前用的是先锋光驱,用了多年性能依旧良好,所以这次还是选先锋。这款光驱质量不错,读盘很快,刻录效果也不错,声音很小,而且价格很实惠。

物流快得惊人,头一天下午下单第二天早上就到了,神速啊,送家里了,下班后试试产品会追评。

当然,由于这两个项目是2018年1月便启动的项目,先于美国的光刻机制裁,因此其立项根据、任务指标等可能与当前的光刻机困局的境况并不匹配

我相信它们依然是基于长期的攻关目标而设定的

由于该项目是2021年9月结束,我还没有查阅到相关的结题资料,所以我们可以从六镜极紫外光刻投影物镜所必需的软硬件条件开始,以及近期公开发表的论文资料,去分析其所能达到的水平

曝光系统被置于真空罩中

在这个系统里,最核心的投影光学部分(MET projection optic)主要涉及高精度非球面加工与检测、极紫外多层膜、投影物镜系统集成测试关键技术,而这些也是长春光机所02专项的核心工作

之前自己有一个黑色的,用着不错,就照样子又买了一个,黑白双煞。物流很快,基本上下单后第2天到货,产品用起来也很方便,不需要安装刻录软件

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极紫外光刻研究的4个阶段在谈六镜极紫外光刻投影物镜之前,有必要回顾EUV光刻机发展历史,简而言之,在德国蔡司长达30年的极紫外EUV光学研究历史里,有4个里程碑的阶段,包括:1,2003年之前的两镜头曝光装置(MET);2,2006年的六镜头EUV演示工具(ADT);3,2009年的第一代六镜头 NA0.33 EUV光刻机;4,明年即将推出第二代六镜头 NA0.55 EUV光刻机

物有所值,买回来看包装就很喜欢,推荐此产品,欢迎大家来买他家的产品。 读盘速度:很快, 读盘声音:声音不是很大 稳定性能:刻录光盘很舒适 外形外观:很漂亮,用着合适。 轻薄程度:很薄

先锋的老牌子,质量好,很厚实,韧性好,不易破,耐用。读盘速度:快稳定性能:非常好轻薄程度:薄外形外观:好 精挑细选的。安装上了,很好

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源美国日本能造光刻机吗

京东就是这么牛,服务很好,快递物流超快,第二天就收到件了,佩服啊。读碟快 刻录静音 音质很好 先锋就是先锋

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源美国日本能造光刻机吗

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