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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(一):长春光机所的新景象光刻机二次光刻对齐原理

编者按:2021年年中,我粗浅的梳理了中国EUV光刻机研发情况

一年国际形势巨变,而西方对中国的光刻机制裁依然没有解除的迹象,而这一年中国的光刻机研发又出现了什么新的景象呢?长春光机所,是最被国人瞩目的光刻机研发单位

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长光集智光学注册资本30亿元人民币,其大股东为深圳市新凯来技术有限公司,持股60%;第二大股东便是中国科学院春光精密机械物理研究所,持股20%;第三大股东是金春水,持股7%

经过核查,深圳市新凯来技术有限公司为深圳市深芯恒科技投资有限公司100%持股企业;而后者又是隶属于深圳国资委的深圳市重大产业投资集团有限公司100%持股的企业

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中国光刻机困局之2022(一):长春光机所的新景象光刻机二次光刻对齐原理

长光集智光学的招聘信息(部分)长光集智光学科技有限公司:金春水作为长光集智光学科技有限公司的最大自然人股东,金春水教授出现在中科院《2017年02专项极紫外光刻关键技术研究”通过验收》的通讯稿里

  金春水说:“我们建立了较为完善的曝光光学系统关键技术研发平台,圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标,实现EUV 光学成像技术跨越,显著提升我国紫外光刻核心光学技术水平

关于金春水教授和他的EUV研发情况,请参考前文:解读国产光刻机困局(四):长春光机所的EUV光刻机?长光集智光学科技有限公司:团队在长光集智光学科技有限公司股东名单里,我们看到一共有18位自然人股东,共持股20%

中国光刻机困局之2022(一):长春光机所的新景象光刻机二次光刻对齐原理

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今天的故事仍然从这里开始

长光集团其中,公众最为熟悉的恐怕当属成立于2018年的北京国望光学科技有限公司,它的产业化继承了长春光机所02专项的DUV光刻机曝光光学系统

长光集团下属企业长光集智光学科技有限公司:国有控股2021年12月30日,长光集团迎来了一家新企业:长光集智光学科技有限公司

正品,发货速度也很快!这款蓝光刻录机支持16倍速,而且非常静音,刻录数十G光盘?最佳选手。省时间啊!美中不足没有附赠刻录软件

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