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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国为何没造高端光刻机?一台包含10多万零部件,全国生产光刻机的城市

然后又要按照光刻机的不同系统进行分类组装,比如光学系统、测量系统、传输系统之类的

除了以上两个关键之处,还有配套设施和后市场之类的,它们的存在让光刻产业链非常的复杂,从而也使人们难以做到,制造出一个所有零件都自己生产的光刻机

因此,想限制高端光刻机很容易,只要对ASML下手就可以了

而我们的高端国产光刻机之所以迟迟没有出现,主要是因为光刻机的制造没有大家想象中的这么简单

虽然高新的技术可以通过不断地钻研学会,但是一台完整光刻机却包含10万多个零部件,并且这些零部件的5000家供应商遍布全球

光刻机到底是什么呢?光刻机其实是集成电路制造中的一个核心设备,它涉及高科技领域很多,比如系统集成、精密光学、精密运动、高精度环境控制等都与其有关,技术含量非比寻常

或许也正是因为这样,光刻机一度被誉为是人类20世纪发明奇迹之一,属于集成电路产业皇冠上的“宝贵明珠

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综上所述,我国目前的国产光刻机整机交付的制造精度只有90纳米对比高端光刻机还差得很远

不过,这已经达到了常用的光刻水平,对于一些低端芯片的生产已经够用了

中国能够整机交付的90纳米光刻机当然,困难只是一时的,我们会不断地努力下去,试图早早解决光刻机零部件难以自己生产的问题

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全国生产光刻机的城市

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中国为何没造高端光刻机?一台包含10多万零部件,全国生产光刻机的城市

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中国为何没造高端光刻机?一台包含10多万零部件

光刻机的工作原理说到这儿,大家可能已经茅塞顿开,合着这玩意儿就起着“转移图形”的作用

这样的话,似乎也没什么了不起

理论上来说,转移图形并不难,难的是芯片变得越来越小,其中容纳的晶体管数量越来越多

这就意味着,光刻机必须要将复杂的集成电路图形,精确地转移到小N倍的芯片上,一旦出现什么意外,芯片就报废了

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