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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机订单,除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?

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中国光刻机订单

尼康最新季度的财报来看,由于工厂建设的投入被推迟,FPD光刻系统市场有所下滑,所以销量有所降低,上季度只卖出了6台FPD光刻机,6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机

由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求,所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势,目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题,只是在交付上有所推迟

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中国光刻机订单,除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?

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所以哪怕是半导体市场有些许低迷,尼康也并没有任何订单因此被取消

值得一提的是,虽然尼康本身目前并没有生产EUV光刻机,却有为EUV系统生产光学组件

不过与EUV光刻机本身一样,EUV的光学组件拥有极长的交期

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不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设,所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年

小结从尼康和佳能两家的财报来看,他们都没有屈服于ASML可怕的实力,仍在积极推动DUV光刻机、FPD光刻机的销售和交付,与此同时也都在低调地进行着下一代光刻系统的研究

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除ASML之外的光刻机厂商近况如何?

NSR-S635E光刻机 / 尼康虽然这样的机器分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距,但已经足以覆盖不少成熟工艺晶圆制造,以及部分次先进节点的辅助制造了

而在去年的SPIE先进光刻机技术会议上,尼康展示了名为双光束EUV光刻技术

而今年的第三季度,佳能的光刻系统营收相较去年同比增长了22.9%,达到645亿日元,主要来自50台半导体光刻机、15台FPD光刻机的销量

佳能预计将在今年卖出180台半导体光刻机,52台FPD光刻机

在财报中,佳能指出,2022年的半导体设备市场中,虽然存储市场有所下滑,但功率设备和逻辑设备的需求依然在强劲增长

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