芯片作为一种高度集成化的科技产物,能以很小的体积运行天文数量的晶体管,用中国古话来讲,就是螺蛳壳里做道场
光刻机启动后,会发射紫外线去除晶圆表面的保护膜,再将电路图形精准投射到晶圆上,以制造出符合芯片需求的图形区域
而这恰恰是工业发展历史不长国家的命门,也是目前我国暂时造不出真正先进水平光刻机的真实原因
光刻机与原子弹,谁更难?说到这里,有人不禁要问,中国曾在一穷二白的时期,独立研发过原子弹,为什么就是研制不出好的光刻机?其实,原子弹这样开创新技术的装备,研究的重点在于搞清楚原理
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尤其是光刻机从DUV迭代到EUV后,加工精度更加夸张,对中国的光刻机制造单位而言,突破精度的技术壁垒,比登天还难
哪怕是我们有幸得到了最先进的EUV光刻机实物,也因为达不到相同的加工精度而无法国产
读盘速度:很快 读盘声音:很小,几乎听不到声音 稳定性能:性能稳定 轻薄程度:与台式机配套合适 外形外观:精緻 产品包装:严实无破损。
制造光刻机太难了
光驱很漂亮,启动的声音很小,弹出非常平稳。希望能够用的时间久一些。读盘速度:很快读盘声音:声音小,几乎听不到产品包装:精美
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反射镜同样是EUV光刻机上的重要一环,能够达到光刻机要求的多层膜反射镜,目前只有德国老牌镜头制造厂家蔡司能够拿出来,这一产品也安装在了ASML家最新研制的光刻机上,以实现EUV波段的高反效率
除了上述两个关键子系统,光刻机的工作台也为制造者提供了难度极高的挑战
中国光刻机侵液系统
目前荷日的光刻机都采用的固定操作台,对于这样一个精密机器,工作台也需要做到极高的精度,EUV光刻机采用高精度激光干涉仪,以便降低光刻机的位移干扰