直到近几年，国产光刻机得到重视，上海微电子和国产光刻机产业链也确实争气，短短数年时间就连续打破空白，量产的封测光刻机已得到业界的认可，其中早前富士康青岛封测工厂就一下子采购了上海微电子的46台封测光刻机，为上海微电子和国产光刻机提供巨额收入，这将加速它们研发制造芯片的光刻机，而如今产业链陆续突破，业界专家表示将不仅一次过攻克28nm光刻机，还将在明年底之前量产14nm国产光刻机
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希望加紧出售光刻机
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光刻机是一个很大的产业链，国产光刻机产业链的进步自然无法完全被掩饰，估计ASML也是看到了国产光刻机产业链的快速发展，了解到纯中国产的先进光刻机即将量产，所以ASML才在今年一季度加紧出货，近期美国限制ASML给中国供货14nm以下的光刻机估计也是认识到中国已很快突破到14nm光刻机了，这是中国芯片产业链值得高兴的事情
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光刻机规格
日前媒体报道指国产先进光刻机的产业链正逐渐完善，纯国产光刻机即将出现，难怪ASML之前加紧向中国出售光刻机了，它非常担忧中国光刻机将成为它的强劲对手
正是由于国产产业链在光刻机方面的进展，让中国正成为全球最具潜力的光刻机生产国，这方面是ASML所在的荷兰和尼康所在的日本都无法达到的，产业链已成为中国光刻机的核心竞争优势
好在这一切，如今都逐渐得到改变，经过数年的发展，国产光刻机产业链如今已逐渐成型，双工作台有华卓精科，激光光源系统有科益虹源、虹科光电等，浸润系统则有启尔机电等，还有镜头系统、曝光光学系统等都有国产厂商在做，并且这些产业链企业都位居全球前三，甚至居于全球第二
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提到中国的光刻机时候，都会谈到上海微电子，然而上海微电子类似于ASML，它自身只能负责部分元件的制造，还得大量外购光刻机元件，最终由它组装成光刻机，正是由于产业链的发展难度大，导致了国内的光刻机在追赶ASML过程中困难重重
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