芯片光刻机哪国进口
台积电业务开发资深副总经理张晓强则表示,2024年取得设备后,初期主要用于与合作伙伴共同研究,尚不会量产
具体的量产将会是在2025年
而根据ASML今年4月披露的信息显示,目前ASML在位于 Veldhoven 的新洁净室中已经开始集成第一个High-NA EUV光刻系统(EXE:5000)
目前,台积电、三星、英特尔等头部的晶圆制造厂商也正在大力投资更先进的3nm、2nm技术,以满足高性能计算等先进芯片需求
而ASML新一代的高数值孔径 High-NA EUV光刻机也就成为了争夺的关键
根据英特尔披露的信息显示,其还将于2024年量产更先进的Intel 18A工艺
在此次的新闻发布会上,温宁克表示,2024年,ASML的High-NA EUV光刻系统将首次应用于晶圆厂,计划在2026年至2027年之间的某个时间点批量生产该设备,并将尽可能扩大其生产能力,预计到2027-2028年,High-NA EUV光刻系统的年产能将达到20个
在今年的三季报会议上,ASML还宣布,其第三季度的预订量达到创纪录的约 89亿欧元,其中38亿欧元是EUV系统,包括了High NA EUV系统
对于High-NA EUV光刻系统的价格,温宁克也首次正面回应称,每台设备的价格将在3亿至3.5亿欧元之间
温宁克还以汽车市场为例介绍到,越来越多的汽车正在实现数字化,这将导致40nm至5nm芯片在汽车中的应用
尽管汽车行业主要使用传统工艺节点制造的芯片,但预计未来也将转向使用更先进制程的芯片
“市场对于我们产品的需求仍然高于我们的生产能力”,温宁克说:“我们的客户必须相信经济衰退的持续时间比我们机器的平均交货时间短
ASML CEO:High-NA EUV将于2024年出货
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