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光刻机_雕刻机_曝光系统

制造光刻机为何这么难,国产9纳米光刻机样机

制造光刻机为何这么难

国产9纳米光刻样机

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有句话说,芯片是微观制造工艺极限

那么将这个极限制造出来的光刻机,有多难非常明显了,而每一纳米的突破都是极其难得,阿斯麦尔温彼得甚至还表示,中国不太可能独立造出顶尖光刻机

要说最难的就是这3个点了

1、光源我们知道,目前ASML最尖端的就是EUV光刻机了,而其使用的就是极紫外线,能够将光刻技术扩展到32nm以下

EUV多层膜反射镜是光学系统当中重要的元件,有了这个反射镜的存在,才能够时间EUV波段的高反射率,且精度要求是非常高,精度越高的东西越难造,显然这个反射镜就不是一个容易造的

3、工作台在芯片制造当中,需要工作台进行配合,而在芯片制造当中,工作台移动来帮助芯片的纹路刻蚀,因此工作台移动的精度越高,那么制作出来的芯片精度也就越高

当初我们原子弹制造是从0到1的跨越,万丈高楼平地起,而光刻机要说,其实是从1到2的进程,只是目前我们没有办法研制高端光刻机,因此我们要做的,就是将高端技术走向高精端,只是这个过程并不容易了

可是目前我们所能够知道的,高端的光刻机,比原子弹要极为稀有,这是不得不面对的事实

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然而要说到能够制造光刻机的国家,那还是能数上几个的,可要说高端光刻机,要严格来说,那就只有荷兰了,根据数据显示,荷兰ASML公司是真正的全球光刻机龙头老大,以一家之力,占据全球91%的市场份额,足以可见其的实力有多强,虽然其的核心技术还主要属于美国和德国,但是真的是非常了不起了

制造光刻机为何这么难,国产9纳米光刻机样机

就说光刻机,在2,30年前技术还处于粗糙的阶段如今的发展进入了高精端的领域,那么再经过5.60年,再看向光刻机技术,是否又会觉得这是一件普通到常见的技术了呢?不论是从领域还是从难度等问题,都没有可比性,也没有意义,要说难,那都是难造的

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