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光刻机_雕刻机_曝光系统

国产光刻机的艰难往事刻蚀机 光刻机

国产光刻机的艰难往事刻蚀机 光刻机

而此时国内刚刚启动193nm光刻机项目,落后国际水平20多年

经过5年的艰苦追赶,终于在2007年,上海微电子宣布研制出90nm光刻

但是由于元器件大部分来自国外西方立刻实行了禁运,导致无法量产

2008年,“02专项”启动,继续攻关,主攻高端光刻机技术,同时鉴于之前的教训,“02专项”的重点,还有提升材料工艺产业配套能力

进入80年代后,国产光刻机研发捷报频传

1980年,清华大学徐端颐团队经过没日没夜的攻关,终于研制出分布式投影光刻机

1985年,中电科45所研制出的至此,中美光刻机技术差距不过7年

日后将称霸光刻机领域的阿斯麦,此时才刚刚诞生

为了摆脱困境,1956年国家成立科学规划小组,集中600多位科学家,开始编制《十二年科学技术发展规划》

这是新中国成立以来第一科技规划,提出了57项重大科学技术任务、616个中心问题,规划初步完成时,资料多达600万字

但是这么多重点,主要应该抓哪些呢?最终四个国际上发展很快,而我国还处于空白的领域,成为了最重要、最紧急的“四大紧急措施”,其中之一,便是半导体

1961 年,美国GCA 公司制造出第一台接触式光刻机

关于我国最早的光刻机,有一种说法是1966年,中国科学院电子研究所的前身——109厂与上海光学仪器厂协作,研制成功我国第一台65型接触式光刻机

国产光刻机的艰难往事刻蚀机 光刻机

回国之后就想着购置一台主流的台式机,平时偶尔玩玩游戏,同时需要能满足某些诸如Photoshop,Matlab等专业性的需求,无奈品牌机很少能两者兼顾,性价比也不是很高,于是萌发出自行组装的想法。趁着这次京东618活动,一次性买齐所有组件,全部是京东自营购入,主要也是看重正品及售后保障。主机的配置如下:Intel i7 8700 + 微星B360M迫击炮 + 微星GTX1650 + 威刚内存(8G*2 DDR4 3000)+ Intel 760P SSD 256G + Seagate HDD 1** + 先锋DVD光驱 + 先马机箱电源600W + 飞利浦显示屏。Intel i7 8700性能十分强劲,SSD能够使机器实现秒开,与之前笔记本的对比还是相当明显的;微星主板一如既往地可靠,迫击炮这款可谓是短小精悍,接口齐全,之所以选择GTX1650,也是兼顾成本与实际需求,虽说比不上国际3A大作特效全开,但是应付古剑三等还是绰绰有余;希捷硬盘值得信赖,2.5寸的已经入手好几块,十分便捷;先马的机箱内部空间相当大,走背线完全没问题,考虑到以后可能的升级,电源选择600W全模组,用到目前相当稳定;复古式机箱搭配Pioneer光驱,以前的光碟也完全可以应付。另外,尽管是618,各个自营店的物流速度相当快,这次的购机体验很好!很满意!

面对今天的困境,人们可能很难想象,中国不仅曾经独立研发出光刻机,把与美国的差距缩短到只有7年,而且还是在国外对我们封锁禁运的情况下完成的

今天,我们还能做到吗?1开局新中国成立之初,百废待兴,全国科研人员加起来不过5万人,难以满足建设需要

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