与ASML的EUV光刻机相比,我们就像是拿着一把盒尺,想要测量国际米原器的精度一样
美国人为了遏制我们在半导体领域的发展,不但限制ASML出口给中国EUV光刻机,就连采用深紫外光的DUV光刻机都限制对我国出口
京东就是这么牛,服务很好,快递物流超快,第二天就收到件了,佩服啊。读碟快 刻录静音 音质很好 先锋就是先锋
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ASML公司研发出了双工作台,在一个工作台完成扫描曝光的同时,另一个工作台也可以同时进行对准、调焦、下片等操作
最后就是耗电问题
EUV光刻机耗电非常高,它需要把整个工作环境都抽成真空以避免灰尘
比起DUV光刻机,它把193nm的短波紫外线替换成了13.5nm的极紫外线,能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸
而EUV光刻机的光源来自于美国的Cymer,这个13.5nm的极紫外线是从193nm的短波紫外线多次反射之后得到的
光刻机项目背景
在芯片制造过程中,并不是一次曝光就可以完成的,在制造过程中要经历多次曝光,这也就意味着,在芯片制作过程中要进行多次对准操作
芯片的每个元件之间都只有几纳米的间隔,在这种情况下,掩膜与硅晶圆之间的对准误差都必须控制在几纳米范围内
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美国人为什么要限制我们购买?
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当今社会中,几乎所有的电子设备,像电脑、手机、汽车、飞机都需要芯片的加持