曾有美国教授指出,如果建造原子弹难度是1,那么中国造光刻机的难度是10,因此有不少人发出疑问,原子弹和光刻机到底哪个更难造?甚至有人说,为什么我们把原子弹都造出来了,为何还造不出光刻机呢?这要说,这两者根本不具备可比性,以目前的技术来说,我们建造原子弹,自然已经不具备难度了,可是能否认原子弹是尖端技术吗?就在几十年前,更是世界最尖端技术的存在,我们建造出第一枚原子弹不难吗?科学家们,用算盘、手摇计算机、第一代电子管计算机算出核弹,能不难吗?难,只是以目前的技术来说,再看过去,难度好似降低了
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光刻机中科院电子所
而ASML采用的则是一种激光干涉仪,精度非常高,有着位移测量的能力,可以实现出纳米级的同步运动,非常精密,这样的技术就是美国也没有办法做到
可见光刻机的建造难度极大,而其的建造,也代表着现如今最完整的高尖端工业体系,代表的是一个国家真正的科技力量,和真正的工业实力,因此是不容小觑的
全球仅荷兰能造高端光刻机
为什么这样说呢?在时间的推移下,拥有核武器,能够制造出核武器的国家已经达到9个之多,五常和巴基斯坦、印度、以色列以及朝鲜这9个,而全球的核弹数量相加,更是一个庞大的数字
毕竟光刻机本就不是一个国家能独立建造的东西,是依靠着全球产业链的支持,进行供应而成
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然而在EUV光刻机面世之前,一直都是使用的DUV光刻机,使用的是短波紫外线,突破到极紫外线,一共花费了20年的时间才完成,可见对于光源的选择使用,其的难度是非常大的,没有捷径可走
2、反射镜反射镜听起来好像是一个比较常见的工具,然而在EUV光刻机上的反射镜可是一个关键技术
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当初我们原子弹制造是从0到1的跨越,万丈高楼平地起,而光刻机要说,其实是从1到2的进程,只是目前我们没有办法研制高端光刻机,因此我们要做的,就是将高端技术走向高精端,只是这个过程并不容易了