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光刻机_雕刻机_曝光系统

荷兰光刻机技术哪里来的,ASML陷入众叛亲离境地

荷兰光刻机技术哪里来的

荷兰光刻机技术哪里来的,ASML陷入众叛亲离境地

据悉日本已成功突破5nm工艺这是在无需采用ASML的EUV光刻机情况下达到的,此前美国也有企业研发了无需EUV光科技的工艺,似乎ASML正陷入众叛亲离的局面

由于成本过于昂贵台积电三星研发的3nm工艺如今面临无客户采用的问题,甚至有消息指苹果考虑到成本问题预计明年的A17处理器仍然采用成熟的4nm工艺而不是3nm工艺

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日本和美国的芯片行业研发摆脱EUV光刻机的芯片制造工艺,在于采用EUV光刻机的芯片制造工艺成本实在太高了,用于7nm及以上工艺的DUV光刻机价格在3000-5000万美元,而第一代EUV光刻机价格达到1.2亿美元,第二代EUV光刻机价格达到4亿美元

据悉日本这次是众多芯片设备企业与日本最大的芯片企业铠侠合作开发先进的5nm工艺,估计是在原有的NIL工艺基础上研发的,此举对于日本的芯片产业来说具有重大意义,将进一步降低芯片的成本,重振日本的芯片产业

无独有偶此前美国的芯片企业美光也成功研发出了无需EUV光刻机的1β(1-beta)制造工艺,显示出美国芯片企业也意图摆脱对ASML的依赖,其实美国芯片业界对ASML的打击并不止于此,它们甚至在挖ASML的根

ASML陷入众叛亲离境地

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早前美国一家精密制造企业Zyvex Labs就宣布研发成功光刻机系统,它舍弃了ASML等光刻机企业所采用的紫外光,而采用了电子束(EBA)刻印电路精度远超采用极紫外线的EUV光刻机,工艺制程可以达到0.768nm,这对于ASML更是重大打击

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