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光刻机_雕刻机_曝光系统

光刻机德国公司,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

使用了一下,外形挺简洁,放DVD很好用,刻录暂时没用。安装简单,读取速度快,希望可以使用期限可以久一些。京东得物流依旧是很不错

光驱收到了,非常好用,连续刻录了10张都成功了,先锋这个牌子还是值得信赖的。整体来说还是很不错的,店家服务态度很好,而且质量也很好,比前的华硕好用太多,开心

2005年美国加州劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具因此,从这一非常具体的实例来作为比较,并且只从曝光工具的单一指标(我们忽略系统性工作能力、技术储备、制造工具储备等)而言,我们在2017年的02专项极紫外曝光光学验收成果,接近2005年劳伦斯伯克利实验室的NA0.3的MET工具的曝光线宽

当然,由于这两个项目是2018年1月便启动的项目,先于美国的光刻机制裁,因此其立项根据、任务指标等可能与当前的光刻困局的境况并不匹配

我相信它们依然是基于长期的攻关目标而设定的

由于该项目是2021年9月结束,我还没有查阅到相关的结题资料,所以我们可以从六镜极紫外光刻投影物镜所必需的软硬件条件开始,以及近期公开发表的论文资料,去分析其所能达到的水平

在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统目的研究里,王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢?在面对西方技术封锁下,我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗?下次见!两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿:https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿:http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文:https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学工学院ADT工具主页:https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

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两镜头光学到六镜头光学系统的差距如前文所述,德国蔡司2003年推出两镜头EUV光学系统后,3年内推出了六镜头的ADT验证机

所以,蔡司的MET光学并非欧洲的光学制造能力的上限,而长春光机所的MET曝光工具则是在采购了欧洲先进制造工具、设计工具基础之上,几乎代表了中国当时在EUV研发上的能力上限

先锋dvd刻录机,多年的老品牌,刻录光盘,读写光盘速度快,稳定性好。可以满足日常读取或者刻录dvd光盘的需要,产品包装对刻录机的保护也很到位,避免了运送途中磕碰对刻录机的伤害,价格也很便宜,是一款高性价比的刻录机。

更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目:六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是,与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的,还有一个国家项目“极紫外光刻机核心子系统关键技术攻关”

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