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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源我们国家有光刻机吗

这款蓝光刻录机价格硬了,我等了一年终于降价了,赶紧入手以前有个先锋的普通刻录机,用了十几年了还在用,刻录杠杠的,没一点问题,声音特别小,性能稳定,外观大气,读写速度都很快,质量绝对硬!!

先锋的光驱,一直都很信赖,以前读书的时候配的电脑的光驱就是先锋,到现在20年过去了,还能用,所以这次依然决然选择先锋。作为光驱的行业领导者和老品牌,果然不负所望,读盘速度快,低音甚至无音,轻薄程度刚好,外形外观简约大方,产品包装和物流包装双重保护,产品包装严实,非常好!

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源我们国家有光刻机吗

2005年美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具这篇论文给出了一份测试结果,展示了30nm和25nm的等线宽线距(L/S)的曝光能力,可以看到30纳米等L/S曝光结构非常清晰

而曝光28.8纳米的独立线条,仍可以获得非常高精度的曝光图案

更令人注意的是一项2018年1月至2021年9月的新项目:六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家任务, 2018-01--2021-09王丽萍教授的极紫外光刻研究活动值得注意的是,与上述六镜极紫外光刻投影物镜开发项目同时同期开展的,还有一个国家项目“极紫外光刻机核心系统关键技术攻关”

在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统目的研究里,王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢?在面对西方技术封锁下,我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗?下次见!两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿:https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿:http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文:https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学工学院ADT工具主页:https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html

一个 6 英寸的 EUV 光掩模结语20年前,ASML的一台ADT工具,便坐落在纽约州立大学理工学院,也就是帕特里克·诺洛(Patrick Naulleau)当时工作的单位

这套价值6500万美元设备信息,至今仍然挂在纽约州立大学理工学院(SUNY POLY)的主页,这里曾经是世界EUV光刻技术的研发先驱

2005年论文:美国加州伯克利劳伦斯实验室的NA0.3的MET工具在这篇论文里,我们可以清晰的看到MET工具CAD模型,它主要包括两个部分:1,从上部的同步辐射光源系统(From synchorotron)经过一个扫描单元传递至曝光装置;它相当于EUV光刻机的EUV光源系统;2,MET曝光系统主要包括从上到下的4个部分:光罩台、投影光学系统、晶圆台、照明台

中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源我们国家有光刻机吗

很好的刻录光驱,可以8倍速刻录光盘,先锋的光驱产品一直是行业领先的存在,上大学的时候就用的先锋的刻录光驱,现在已经毕业多年,这次公司要买个可以刻录的光驱,第一反应选择了先锋的光驱,很不错,京东的小哥送货上门,好好的服务。

快递超级给力,次日达。本次活动也可以呀。先锋的刻录机,多年的老牌子了,DVD刻录机还用着这个的。目前支持4K的光驱极其稀少了

下单没隔多久就收到了,快递速度非常快,这是选择京东购物的一个原因,第二个原因就是在京东购物正品,有保证,货物包装严实,小巧玲珑,看起来非常高端,大气上档次,使用起来效果更是满意。读盘速度非常快,性能稳定

非常好用,安静,可以读取和刻录dvd-ram碟片,但我发现这款和华硕那款同价位的造型都一样,功能也一样,怀疑是同一间厂生产

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