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光刻机_雕刻机_曝光系统

中国买不到好的光刻机,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

王丽萍教授2007年论文设计的2镜头MET曝光光学系统在这篇论文结尾,王丽萍写道:“根据我国阶段的技术基础研究目标,两镜微缩投影系统的研究仍为重点”

两镜头MET曝光工具性能两镜头MET曝光工具与量产型EUV光刻机具有本质的不同,它不具有生产能力

刻录机非常好,读写静音极佳,刻盘质量极佳,是我用过的最好刻录机,质量也非常过硬,下次一定在来买。

中国买不到好的光刻机,中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

装上去试了一下。运转声音很静,读碟很快,比以前那个好多了。好用,以前一直都是喜欢用先锋刻录机,非常好用,京东购买,还便宜,性价比高。

还没安装,连电测试了一下没问题。这两天装起来试试。工作需要刻盘,先锋算是光驱里边老牌子了,希望可以好用一点,用久一点。总之不错,很满意。

外包装很精美,比联想db75好多了。先前用db75太久了,光头有点灰尘,抓出来的音频有问题,换了之后就好多了。目前没问题,各方面都很好。eac上可以直接查到偏移值,好用!

中国光刻困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源

中国买不到好的光刻机

德国蔡司的EUV光学系统实际上在ADT之前,美国开展了为期3年的工程验证机(ETS)研究,其采用的是四镜头曝光光学

所以更宽范围来说,过去30年的EUV光刻光学研究一共出现了5代形态

而高NA0.55EUV光学系统是从十年前便开始布局工业化,因此,我们从蔡司的产品迭代来看,我们与蔡司的技术代差实际上是放大了的

做工精致,读片性能很好,轻薄小巧携带方便,五星!还可以,价格很便宜了,电脑还是要装一个刻录机的,万一用了还是很方便的

京东购物真方便,一直购买中 读盘速度:超快,识别光盘也不错,兼容性能超好。 外形外观:黑色,自用真好,看着舒服。。 轻薄程度:小巧轻便,放在笔记本包里也正好,方便我带出去 产品包装:京东物流快,包装也好,没有损坏,给快递师傅点赞。 读盘声音:读盘声音轻,能接受。

使用了几次,才来评价,全五星全五分好评!质量不错,读盘速度挺快,同时购买了一款外置的,这个还没有用过过。相信先锋品牌的质量,相信京东自营货物品质。

ASML NXE:3300 极紫外 EUV 光刻机,具有数值孔径 NA0.33 的极紫外光学曝光系统王丽萍教授的极紫外光刻研究王丽萍教授的主页王丽萍教授目前是中科院大学博士生导师,在她的主页上,我们可以看到她参与了02专项的极紫外光刻研究

因此,在大约十年时间里,长春光机所获得了突破性的进展 -- 两镜头MET工具的设计和制造能力,使得我们有机会进行下一阶段的六镜头EUV光学系统的设计和开发

而这也是篇首我们看到的王丽萍教授参与的六镜头投影系统设计和验证工作的基本背景

美国加州劳伦斯伯克利实验室CXRO主任值得一提的是,2005年发表这篇论文的帕特里克·诺洛(Patrick Naulleau)当年是纽约州立大学的副教授,他现在是加州劳伦斯伯克利实验室CXRO的主管,CXRO实验室正在为下一代NA0.55 光刻机开发关键配套材料

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