光刻机之所以难,在于它是集诸多行业的精华于一身,需要诸多产业链企业共同配合才能量产,一台光刻机就有上万个元件,可以说只是光刻机本身就是一条相当大的产业链
此时传芯半导体公开宣布已经20余项EUV光刻机技术专利,意味着我国在更先进的EUV光刻机技术研发方面也已取得了重大突破
ASML另一重担忧则是中国光刻机技术的快速发展,可能成为它的竞争对手,中国制造此前的事实一再证明,只要中国取得突破的技术,那么量产的产品往往比海外竞争对手的便宜许多,在成本方面ASML根本就不是中国同行的竞争对手
对于ASML来说,中国市场对它意义重大,2021年和今年一季度中国市场为它贡献了三分之一的收入,已成为它的最大市场,如此大的市场,当然是ASML不能轻易舍弃的,事实今年一季度在诸多压力下,ASML就紧急对中国出货23台DUV光刻机,更计划在中国增加200名员工,以更好地为中国客户服务,取得更多市场
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这些消息都无不让ASML如鲠在喉,所以美国方面一再施加压力,但是ASML却一直都认为限制DUV光刻机没有多大意义,DUV光刻机已是多年前就已成熟的技术,中国在DUV光刻机方面的进展将会更快,如今中国在EUV光刻机技术上的进展如此迅速,显示出中国不仅在DUV光刻机技术方面进展迅速,在更先进的EUV光刻机技术方面同样很快
纳米光刻机可以做什么
近日国内光刻机产业链的企业之一,传芯半导体公开宣布已经20余项EUV光刻机技术专利,加上此前在激光光源、工作台、镜头等方面所取得的成果,国产EUV光刻机已取得了重大进展,或许数年后国产EUV光刻机就将量产,这正让ASML后悔莫及
已拿下20多项专利
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