其实,我国光刻机的起步并不晚,早在20世纪60年代,中科院就开始研究,1965年就研制出第一台接触式国产光刻机,1985年研发成功了第一台分布式投影光刻机
此时,ASML才成立一年之久,我国的光刻机水平跟国际先进水平的差距才不到7年
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不仅如此,前段时间ASML的总裁还直接表示,继续限制光刻机卖给中企,5年内他们将掌握所有EUV光刻技术,15年之后ASML或将失去行业话语权,后果非常严重
由于ASML的EUV技术来自于美方,不少零部件来自于美企,因此ASML在EUV光刻机出货上只能乖乖听话,限制EUV光刻机给中企,所以中芯国际订购的至今未到货
如果照此发展下去,也许将出现国产光刻机的辉煌
然而,受到了当时造不如买的思想冲击,加上《瓦森纳协定》的阻挠限制,国产光刻机没能走进市场应用而落寞了
不过,到2000年时光刻机技术重新受到重视,之后还被列入到了国家专项科技攻关计划,2002年专注于光刻机的上海微电子成立,总经理贺荣明还带队到欧洲考察学习
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ASML开始硬气了!中企首台光刻机正式搬入fpd光刻机
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海阔天空 - Beyond.mp33:59来自科技强哥说来自荷兰的ASML,由一家小公司,逐步成长壮大,超过日本两大光刻机巨头尼康和佳能,成了全球光刻机领域的最大巨头,并且还独家垄断了最为先进的EUV光刻机
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全球各地的晶圆制造厂都要依赖ASML的中高端光刻机,这确实足以让ASML傲气十足
然而,随着形势的发展,ASML的态度开始转变了,对我们和对美方都在变化
光刻机是芯片制造过程中不可缺少的核心设备,它之所以被称为人类工业皇冠上的明珠,主要是因为它集成了全球多国多项最高端的技术,所要求的精准度非常之高