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光刻机_雕刻机_曝光系统

不再向美限令妥协!首台ASML光刻机已搬入中企中国研发光刻机的上市公司有哪些

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如今,ASML不仅拒绝收紧DUV光刻机的出货范围,还计划将在中国台湾地区投资300亿新台币进行扩产

随着先进光刻机产能提升和High-NA EUV光刻机的问世,ASML有望自由出货更先进的设备

▲ 鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入现场据了解,ASML做出这样的决定,主要出于以下几点原因:首先,国内市场是最大的芯片消费市场,目前很多国内厂商开始自研自产芯片,进口芯片出现了明显的下滑趋势

为了遏制中国科技发展,美方不仅施压荷兰光刻机制造商斯麦(ASML)禁止我国出售14nm及以下工艺的DUV光刻机,还一直试图要求该公司禁止对华销售部分旧款光刻机,以及所有制造芯片所需的主流技术

要知道,目前全球只有ASML能够生产先进的EUV光刻机,但ASML的光刻机汇集了世界高端技术的结晶,其中自然用到了很多含有美国设备的技术,所以ASML自由出货被美方拿捏得死死的

不过,ASML针对自由出货不愿意再妥协了——近日,由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式

该项目于2021年1月开启,同年7月正式开工,建成后将导入荷兰安世半导体技术打造国内第一座12英寸车规级功率半导自动化晶圆制造中心,对临港新片区建设世界级的电动汽车产业链具有重要意义

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▲ 临港重装备产业区F16-01地块项目根据公开资料显示,鼎泰匠芯母公司是闻天下科技集团有限公司,闻天下旗下的闻泰科技(安世半导体)是全球知名的半导体IDM企业,在功率半导体领域形成了产品设计、仿真、制造、封装、测试、标定、可靠性试验验证等一系列IDM核心技术能力,在车规级半导体领域处于全球领先,对晶圆制造建厂、设备、工艺及产品等都有着丰富的认知和实践经验

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据悉,建设包括FAB生产厂房(含洁净室)、OS生产调度及研发大楼、CB综合楼、WH仓库、CUB动力站等大型群体工程

其中,FAB生产厂房作为本工程最大规模单体,建筑面积达104085.98平方米

待该项目全面达到预期产能后,可实现年产能约36万片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圆片,主要生产MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件产品

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