中国的光刻机产业链发展得如此缓慢，在于早期中国考虑到先进技术可以通过在海外购买的方式实现，因此导致国产的光刻机即使生产出来也没有厂商愿意使用，毕竟国产光刻机在技术方面不如海外企业
国产光刻机龙头上海微电子成立于2002年，其实它发展光刻机的时间不并不ASML晚太多
ASML真的慌了
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日前媒体报道指国产先进光刻机的产业链正逐渐完善，纯国产光刻机即将出现，难怪ASML之前加紧向中国出售光刻机了，它非常担忧中国光刻机将成为它的强劲对手
正是由于国产产业链在光刻机方面的进展，让中国正成为全球最具潜力的光刻机生产国，这方面是ASML所在的荷兰和尼康所在的日本都无法达到的，产业链已成为中国光刻机的核心竞争优势
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直到近几年，国产光刻机得到重视，上海微电子和国产光刻机产业链也确实争气，短短数年时间就连续打破空白，量产的封测光刻机已得到业界的认可，其中早前富士康青岛封测工厂就一下子采购了上海微电子的46台封测光刻机，为上海微电子和国产光刻机提供巨额收入，这将加速它们研发制造芯片的光刻机，而如今产业链陆续突破，业界专家表示将不仅一次过攻克28nm光刻机，还将在明年底之前量产14nm国产光刻机
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提到中国的光刻机时候，都会谈到上海微电子，然而上海微电子类似于ASML，它自身只能负责部分元件的制造，还得大量外购光刻机元件，最终由它组装成光刻机，正是由于产业链的发展难度大，导致了国内的光刻机在追赶ASML过程中困难重重
两三年后，林本坚和ASML研发的浸润式光刻机被生产出来，显示它的技术优势，浸润式光刻机随即成为市场主流，至2008年ASML超越了尼康和佳能成为全球最大的光刻机企业，此后ASML在光刻机市场的地位不断得到巩固
中科院超分辨率光刻机
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