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光刻机_雕刻机_曝光系统

不再向美限令妥协!首台ASML光刻机已搬入中企长春光华微电子光刻机

为了遏制中国科技发展,美方不仅施压荷兰光刻机制造商斯麦(ASML)禁止我国出售14nm及以下工艺的DUV光刻机,还一直试图要求该公司禁止对华销售部分旧款光刻机,以及所有制造芯片所需的主流技术

要知道,目前全球只有ASML能够生产先进的EUV光刻机,但ASML的光刻机汇集了世界高端技术的结晶,其中自然用到了很多含有美国设备的技术,所以ASML自由出货被美方拿捏得死死的

不再向美限令妥协!首台ASML光刻机已搬入中企长春光华微电子光刻机

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如今,ASML不仅拒绝收紧DUV光刻机的出货范围,还计划将在中国台湾地区投资300亿新台币进行扩产

随着先进光刻机产能提升和High-NA EUV光刻机的问世,ASML有望自由出货更先进的设备

▲ 鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入现场据了解,ASML做出这样的决定,主要出于以下几点原因:首先,国内市场是最大的芯片消费市场,目前很多国内厂商开始自研自产芯片,进口芯片出现了明显的下滑趋势

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不过,ASML针对自由出货不愿意再妥协了——近日,由上海建工四建集团承建的临港重装备产业区F16-01地块项目,举行了鼎泰匠芯洁净室交付ASML光刻机搬入仪式

该项目于2021年1月开启,同年7月正式开工,建成后将导入荷兰安世半导体技术打造国内第一座12英寸车规级功率半导自动化晶圆制造中心,对临港新片区建设世界级的电动汽车产业链具有重要意义

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同时,还将同步推动建成芯片设计、5G智能硬件和AI/IOT模块设计的研发总部,助力上海成为国际一流的半导体和5G产业创新高地

未来,临港12英寸车规级晶圆厂的投产也将有助于安世半导体快速增加产能,对满足全球客户日益增长的需求具有重要意义

意味着,首台ASML光刻机搬入,中国首座12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心即将投入生产;与此同时,ASML也通过实际行动表明了自己不放弃中国市场的态度!▲ 首台设备搬入造芯:预计年产36万片!根据鼎泰匠芯官方消息显示,临港重装备产业区F16-01地块项目,位于上海市浦东新区南汇新城镇,东至新元南路,西至鸿音路,北至万水路,占地约198亩,总建筑面积达204059.7平方米,总投资超120亿元

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