在过去三年的六镜头EUV光刻光学系统项目的研究里，王丽萍教授和她的团队已经进展到哪一个阶段了呢？在面对西方技术封锁下，我们能够获得项目推进所必须的软硬件条件吗？下次见！两镜头极紫外曝光工具MET-5参考资料2017年中科院02专项验收通讯稿：https://www.cas.cn/cm/201707/t20170710_4607967.shtml2017年长春光机所02专项验收通讯稿：http://www.ciomp.cas.cn/xwdt/mtcg/201707/t20170711_4830235.html2005年加州劳伦斯伯克利实验室MET工具论文：https://digital.library.unt.edu/ark:/67531/metadc885229/m2/1/high_res_d/901242.pdf纽约州立大学理工学院ADT工具主页：https://www.sunypoly.edu/research/wafer-fabrication/wafer-processing-rd/lithography-patterning-tools/asml-300mm-adt-euv.html
先锋的老牌子，质量好，很厚实，韧性好，不易破，耐用。读盘速度：快稳定性能：非常好轻薄程度：薄外形外观：好 精挑细选的。安装上了，很好
编者按：2021年12月30日，长春光机所依托02专项极紫外光刻研究团队，在深圳国资委资助下，合作成立了一家新企业：长光集智光学科技有限公司
长春光机所研发团队持股20%，而第二大自然人股东--王丽萍教授，便是今天故事的主角
用了多年先锋刻录机，相信它的质量，到手发现很小巧玲珑，方便携带，试刻了一张，很好，和win7兼容的很好，自动安装了驱动，系统直接就可以刻录，做工也不错！
刻录机包装完好无损，外观设计漂亮，性能稳定。物流超快。感谢商家和快递小哥！包装很完整，做工也不错，入手很轻，读盘顺畅，还没试着刻盘
可以的，外观漂亮且做工不错很结实，质量应该不错。用PowerDVD播放蓝光原碟很顺畅，画质也不错。刻录了一张25G和50G的蓝光碟，都刻录得很顺利。刻录的数据是之前自己收藏的蓝光原碟用笔记本蓝光BD-ROM光驱抓轨的iso镜像，刻录完后塞到客厅的蓝光影碟机里播放也很顺畅。作为Hi-Fi影音发烧友，也是先锋这品牌的老用户，设备里有三台还在服役且音质很发烧的先锋黑胶唱机、磁带卡座和LD影碟机，一直以来这三台老设备质量都很皮实且没出过故障。没用过先锋蓝光刻录机，这次买了台功能齐全又档次高点的，希望先锋的品质能一直如一，希望这蓝光刻录机的质量也能和那几台老设备一样不出故障长久用下去！ 哦对，顺便吐槽一下。收到后发现包装没有封条，虽然里面的保护膜没被动过且包裹刻录机本体的塑料纸完好，但真的挺容易会被认为是非全新（看了保护膜和螺丝孔，是全新的没问题，放心买吧）。此外，也不送个SATA数据线也是有点抠门，开始还以为是在包装盒里，然后发现包装盒里也没有…简直。还好手上有多的SATA数据线。这个希望注意一下，一条SATA数据线没多少钱就别抠门了，给来买刻录机的配一条主要也是方便买家。
一直想弄个刻录机，在华硕和先锋两个品牌面前打转，不知道选哪个，以前用的CD和DVD都是先锋的，有点点情节，先锋的质量非常好，希望现在的也一直保持着当年的光彩，这款支持4K，功能全面，果断下手，要弄就弄个好点的，未来说不定需求都要，做工非常了得啊！质感很好！支持先锋！
而如果我们把2017年当作中国的两镜头EUV光学系统成型的时间节点，我们有条件在3年内完成ADT验证机吗？回答这个问题，我们首先要理清蔡司的MET工具和长春光机所的MET工具的差异：2003年蔡司的两镜头MET曝光工具的核心功能，是进行EUV的曝光能力极限的原理性论证工作；而2017年中国的两镜头MET曝光系统核心是搭建中国的EUV研究基本条件、团队
王丽萍研究生在读时，于2007年发表了1篇EUV光刻光学设计的论文，涉及两镜头微缩投影系统：《极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计》
王丽萍2007年发表论文在这篇论文中，给出了一套MET工具的光学设计图，其数值孔径NA0.3，分辨力优于32nm、矩形视场为 300μm×500μm
中国光刻机困局之2022(二):六镜头极紫外光学系统的起源2020上海微电子45nm光刻机
当然，由于这两个项目是2018年1月便启动的项目，先于美国的光刻机制裁，因此其立项根据、任务指标等可能与当前的光刻机困局的境况并不匹配
我相信它们依然是基于长期的攻关目标而设定的
由于该项目是2021年9月结束，我还没有查阅到相关的结题资料，所以我们可以从六镜极紫外光刻投影物镜所必需的软硬件条件开始，以及近期公开发表的论文资料，去分析其所能达到的水平