制造光刻机为何这么难
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那么将这个极限制造出来的光刻机,有多难非常明显了,而每一纳米的突破,都是极其难得,阿斯麦尔温彼得甚至还表示,中国不太可能独立造出顶尖光刻机
要说最难的就是这3个点了
1、光源我们知道,目前ASML最尖端的就是EUV光刻机了,而其使用的就是极紫外线,能够将光刻技术扩展到32nm以下
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曾有美国教授指出,如果建造原子弹难度是1,那么中国造光刻机的难度是10,因此有不少人发出疑问,原子弹和光刻机到底哪个更难造?甚至有人说,为什么我们把原子弹都造出来了,为何还造不出光刻机呢?这要说,这两者根本不具备可比性,以目前的技术来说,我们建造原子弹,自然已经不具备难度了,可是能否认原子弹是尖端技术吗?就在几十年前,更是世界最尖端技术的存在,我们建造出第一枚原子弹不难吗?科学家们,用算盘、手摇计算机、第一代电子管计算机算出核弹,能不难吗?难,只是以目前的技术来说,再看过去,难度好似降低了
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那么这个光刻机到底为什么这么难造呢?光刻机是用来制造芯片的核心装备,而芯片的重要性那就不言而喻了,而没有光刻机,我们就没有办法制造芯片,所以涉及到芯片,那么光刻机就是无法躲开的存在
目前我国的国产光刻机,只能生产90纳米的芯片,就算我们能设计更为精细的芯片,可是没有光刻机一样造不出,目前我们要做的是突破28纳米的光刻机技术
EUV多层膜反射镜是光学系统当中重要的元件,有了这个反射镜的存在,才能够时间EUV波段的高反射率,且精度要求是非常高,精度越高的东西越难造,显然这个反射镜就不是一个容易造的
3、工作台在芯片制造当中,需要工作台进行配合,而在芯片制造当中,工作台移动来帮助芯片的纹路刻蚀,因此工作台移动的精度越高,那么制作出来的芯片精度也就越高
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而ASML采用的则是一种激光干涉仪,精度非常高,有着位移测量的能力,可以实现出纳米级的同步运动,非常精密,这样的技术就是美国也没有办法做到
可见光刻机的建造难度极大,而其的建造,也代表着现如今最完整的高尖端工业体系,代表的是一个国家真正的科技力量,和真正的工业实力,因此是不容小觑的
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光刻机 wiki
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