中国的光刻机产业链发展得如此缓慢,在于早期中国考虑到先进技术可以通过在海外购买的方式实现,因此导致国产的光刻机即使生产出来也没有厂商愿意使用,毕竟国产光刻机在技术方面不如海外企业
国产光刻机龙头上海微电子成立于2002年,其实它发展光刻机的时间不并不ASML晚太多
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光刻机的难度相当大,在于它自身就是一个庞大的产业链,DUV光刻机的重量达到500公斤,由1万多个元件组成;EUV光刻机更是重达180吨,由10万多个元件组成,正是因为它的复杂性,所以ASML自身无法生产所有元件,需要由德国、美国、日本等全球诸多产业链企业配合才能生产出光刻机
ASML真的慌了
两三年后,林本坚和ASML研发的浸润式光刻机被生产出来,显示它的技术优势,浸润式光刻机随即成为市场主流,至2008年ASML超越了尼康和佳能成为全球最大的光刻机企业,此后ASML在光刻机市场的地位不断得到巩固
提到中国的光刻机时候,都会谈到上海微电子,然而上海微电子类似于ASML,它自身只能负责部分元件的制造,还得大量外购光刻机元件,最终由它组装成光刻机,正是由于产业链的发展难度大,导致了国内的光刻机在追赶ASML过程中困难重重
日前媒体报道指国产先进光刻机的产业链正逐渐完善,纯国产光刻机即将出现,难怪ASML之前加紧向中国出售光刻机了,它非常担忧中国光刻机将成为它的强劲对手
正是由于国产产业链在光刻机方面的进展,让中国正成为全球最具潜力的光刻机生产国,这方面是ASML所在的荷兰和尼康所在的日本都无法达到的,产业链已成为中国光刻机的核心竞争优势
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