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光刻机_雕刻机_曝光系统

硬抗美国施压!荷外贸大臣:对华出售光刻机 荷兰...国产光刻机 上海微电子

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而作为芯片领域关键一环——EUV和DUV光刻机的生产国,荷兰的态度无疑是相当重要

不过荷兰政府官员近日表示,将捍卫自己的经济利益拒绝听从美国方面提出的对中国禁售半导体设备请求

荷兰外贸与发展合作大臣Liesje Schreinemacher周二表示,在与美国等其他国家的贸易谈判中,荷兰将就阿斯麦公司(ASML)向中国销售芯片设备的事宜做出自己的决定

在与中国的贸易中,阿斯麦目前只供应了技术相对低一档次的DUV(深紫外线光刻机),该设备瞄准的是工艺技术在7纳米以上芯片的制造,覆盖了目前市场上大部分成熟制程的芯片,而中国也是阿斯麦DUV光刻机的最大客户之一

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阿斯麦公司在尖端芯片制造设备市场占据主导地位,占全球光刻机市场60%的份额,也是全球唯一一家能够供应7纳米以下芯片所需EUV光刻机的公司

至于EUV(极紫外线光刻机),由于美国率先完成了该设备的原型设计和技术积累,阿斯麦EUV光刻机的技术和零部件主要来自于美国

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据媒体称,美国官员近阶段一直在向荷兰政府施压,要求其禁止向中国销售浸没式光刻机,这也是阿斯麦DUV光刻机中先进的设备

包括商务部副部长Alan Estevez在内的美国高级官员代表团,将于本月前往荷兰讨论相关出口管制问题,但据媒体预计本次会谈不会立刻达成协议

因此,阿斯麦尚不能违反美国方面要求向中国供应该设备

7-14纳米机会阿斯麦的DUV光刻机能够覆盖7-14纳米的芯片,且该公司目前100%地垄断了能够制造10纳米以下芯片的光核机设备

美国在出台政策限制中国获取高尖端半导体设备的同时,仍担心阿斯麦通过DUV让中国能够发展7-14纳米级别的芯片

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