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光刻机_雕刻机_曝光系统

国产深紫固态光刻机,硬抗美国施压!荷外贸大臣:对华出售光刻机 荷兰...

而作为芯片领域关键一环——EUV和DUV光刻机生产国,荷兰态度无疑是相当重要

不过荷兰政府官员近日表示,将捍卫自己的经济利益拒绝听从美国方面提出的对中国禁售半导体设备请求

荷兰外贸与发展合作大臣Liesje Schreinemacher周二表示,在与美国等其他国家的贸易谈判中,荷兰将就阿斯麦公司(ASML)向中国销售芯片设备的事宜做出自己的决定

阿斯麦公司在尖端芯片制造设备市场占据主导地位,占全球光刻机市场60%的份额,也是全球唯一一家能够供应7纳米以下芯片所需EUV光刻机的公司

至于EUV(极紫外线光刻机),由于美国率先完成了该设备的原型设计和技术积累,阿斯麦EUV光刻机的技术和零部件主要来自于美国

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硬抗美国施压!荷外贸大臣:对华出售光刻机 荷兰...

据媒体称,美国官员近阶段一直在向荷兰政府施压,要求其禁止向中国销售浸没式光刻机,这也是阿斯麦DUV光刻机中先进的设备

包括商务部副部长Alan Estevez在内的美国高级官员代表团,将于本月前往荷兰讨论相关出口管制问题,但据媒体预计本次会谈不会立刻达成协议

在与中国的贸易中,阿斯麦目前只供应了技术相对低一档次的DUV(深紫外线光刻机),该设备瞄准的是工艺技术在7纳米以上芯片的制造,覆盖了目前市场上大部分成熟制程的芯片,而中国也是阿斯麦DUV光刻机的最大客户之一

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而除了阿斯麦,芯片制造设备市场中还有美国同行应用材料(Applied Materials Inc.)、泛林集团(Lam Research Corp. )和科磊( KLA Corp.),以及日本公司东京电子(Tokyo Electron Ltd.)

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