虽然仍在概念阶段，但从论文上看基于该技术打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率，0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量，这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了
不过要想造出这样的机器光有概念可不够，与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行
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而今年的第三季度，佳能的光刻系统营收相较去年同比增长了22.9%，达到645亿日元，主要来自50台半导体光刻机、15台FPD光刻机的销量
佳能预计将在今年卖出180台半导体光刻机，52台FPD光刻机
在财报中，佳能指出，2022年的半导体设备市场中，虽然存储市场有所下滑，但功率设备和逻辑设备的需求依然在强劲增长
NSR-S635E光刻机 / 尼康虽然这样的机器在分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距，但已经足以覆盖不少成熟工艺的晶圆制造，以及部分次先进节点的辅助制造了
而在去年的SPIE先进光刻机技术会议上，尼康展示了名为双光束EUV光刻技术
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非常好，但刻录只有18速？，而且噪音很大，不过其他很好。不错的用来刻录CD机用的。很安静。没有噪音。稳定可靠。
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台积电有几台光刻机
除ASML之外的光刻机厂商们近况如何?
FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能佳能与尼康一样，同样拥有影像和光刻机两大业务，但在光刻机上，佳能的主要产品是i线和KrF光刻机，其中主打高分辨率高产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率
不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设，所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年
小结从尼康和佳能两家的财报来看，他们都没有屈服于ASML可怕的实力，仍在积极推动DUV光刻机、FPD光刻机的销售和交付，与此同时也都在低调地进行着下一代光刻系统的研究
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