光刻机为啥这么难造?比原子弹还稀有
首先EUV光刻机的总重量达到了180吨,需要几十个集装箱运输,并且即使运到了地点也要准备一年的时间等待安装调试
可以看出,光刻机绝对不是大家想象中的“小玩意儿”,它是非常庞大和复杂的
每一个零部件的调试都至关重要目前的高端光刻机的制造主要面对几个技术难题,第一就是解决“光源”的问题
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日本光刻机技术
光刻机的内部结构精密复杂就用荷兰阿斯麦尔公司制造的EUV光刻机来说,这个光刻机中有10万多个零件,其中90%的关键设备都来自其他国家,该公司只负责整机设计和各模块集成
可以看出,想制造光刻机仅有核心技术是不够的,因为许多零件都要依靠进口,在这种情况下,想独立制造,肯定是极难做到的
高性能的光刻机当中集合了德国的蔡司镜头技术、美国的控制软件和光源以及日本的特殊复合材料等等
组件众多的光刻机内部其次就是高端光刻胶主要依靠进口,比如适用于12寸硅片的ArF光刻胶就是完全依靠进口的
读盘速度:很快,关键是稳,8倍速,蓝光的 读盘声音:声音很轻,可以说用细微来形容 稳定性能:8倍速保证光盘刻录一张保一张 轻薄程度:很轻薄,很便携,非常好 外形外观:小巧,低奢而大气 产品包装:产品的包装很好,两侧的泡沫直接让刻录机在包装盒里悬空,极大地避免了震动!
ASML的EUV光刻机简单来说,光刻机算得上是凝聚了各国人才心血的产物,其原材料来自五湖四海
而荷兰和日本虽然已经在这个领域独占鳌头,但是也无法实现“整机国产化”生产,依旧需要全球上下游产业链的供给和支持
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全球光刻机市场格局示意图在这之中,荷兰的阿斯麦尔公司主导高端市场,日本的尼康和佳能则占据了低端市场的大量份额
那么,这只让“两家独大”的光刻机,到底有多难造?光刻机为何如此难造?其实对于光刻机为什么这么难造的问题,我们可以用第五代EUV光刻机为例子,来找找原因
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