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光刻机_雕刻机_曝光系统

长春光机所光刻机光源,中国院士:放弃幻想

对于正处爬坡破冰阶段国产芯片而言,这无疑是个好消息

从短期看来,有了ASML的光刻机设备支持,国产芯片在28nm节点左右的成熟工艺领域产能和良率都能够得到有效的保障,有助于我们进一步降低对美芯的依赖

那么问题来了,ASML为何冒着与老美“撕破脸”的风险,也要大陆市场供应DUV等光刻机呢?原因有两方面

就连ASML也是这么认为的,当国内科研团队荷兰ASML总部“取经”时,ASML首席工程师就泼来“冷水”,表示就算是把图纸给中国,我们也造不出来

在前不久,美国再次施压,通知ASML收紧主流需求光刻机的出货范围

简单来说,就是实施光刻机新规,在限制EUV的基础上,让ASML连DUV等其他可用于造芯的光刻设备也不再对大陆市场出货

很显然,美国把光刻机当成了阻碍我国芯片产业发展的“工具

但意外的是,此次ASML却把禁令当成了“废纸”!不仅态度强硬的拒绝了老美限制DUV出货的要求,而且还明确表态不会放弃中国市场

而就在近日,ASML传出重磅消息,已正式把光刻机交付给了鼎泰匠心等中企,并完成了相应的技术检测认证

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中国院士:放弃幻想

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大家都知道,光刻机是芯片制造核心设备,台积能成长全球先进的代工企业,主要原因就是它手握着80多台EUV光刻机

反观中芯国际等国内代工企业,则是“巧妇难为无米之炊”,由于美国限制ASML向大陆市场出口EUV光刻机,这导致国产芯片迟迟无法突破先进工艺

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长春光机所光刻机光源

首先,我国拥有着全球最大的半导体消费市场,年均进口额现阶段更是突破了4000亿美元

在美国实施芯片禁令后,国内掀起了自主造芯的浪潮,对光刻机等核心设备材料的需求规模庞大

ASML作为一家以盈利为目的的公司,自然不愿意放弃这块巨大的“奶酪”

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