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光刻机_雕刻机_曝光系统

最高端的光刻机,光刻机要一直被“卡脖子”?华为:我偏不...

另一方面,中国科技的特点,是越被封杀,就越要发展,赶上封杀者,最后迫使封杀者不得不低头

比如,中国在突破盾构机技术后,德国盾构机就降价了,但中国依然按自己的步伐制造生产盾构机

如今,这一幕很可能会再现,如果 ASML 继续封杀,等国产光刻机起来,ASML 日子不好过了

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很明显,美国限制光刻机对中国出口,大大伤害了 ASML 的经济利益,他们不想再听美国人的话

今年第一季度 ASML 就向中国出货了 23 台 DUV 光刻机,中国市场就此超过美国,成为 ASML 第三大市场

在被限制的条件下,依然能排到第三,可见国内市场的潜力,ASML 肯定不愿意放弃

2018 年开始,ASML 被美国施压禁止向中国出口最先进的极紫外线光刻机(EUV),但仍可以销售上一代的深紫外线光刻机(DUV)

到了今年,美国变本加厉,要求连 DUV 也要禁售,这下 AMSL 不干了

11 月 25 日,荷兰外贸与发展合作大臣莉谢·施赖纳马赫尔表示,荷兰正与美国政府就关于向中国出口光刻机的新限制进行谈判

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据悉,建设包括 FAB 生产厂房、OS 生产调度及研发大楼、CB 综合楼、WH 仓库、CUB 动力站等大型群体工程

项目完成后,可实现产能约 36 万片 12 英寸功率器件晶圆片,主要生产 MOSFET、GaN FET、SiC FET 等功率器件产品

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不过,虽然国产光刻机开始不断进步,但技术差距国外依旧有较大差距,这是客观现实

阶段我国无法制造高端光刻机,但可以制造一些低、中端的光刻机

2020 年 6 月,上海微电子设备有限公司透露将在 2021—2022 年交付首台国产 28 纳米工艺浸没式光刻机

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