有句话说,芯片是微观制造工艺的极限
那么将这个极限制造出来的光刻机,有多难非常明显了,而每一纳米的突破,都是极其难得,阿斯麦尔温彼得甚至还表示,中国不太可能独立造出顶尖光刻机
要说最难的就是这3个点了
1、光源我们知道,目前ASML最尖端的就是EUV光刻机了,而其使用的就是极紫外线,能够将光刻技术扩展到32nm以下
然而在EUV光刻机面世之前,一直都是使用的DUV光刻机,使用的是短波紫外线,突破到极紫外线,一共花费了20年的时间才完成,可见对于光源的选择使用,其的难度是非常大的,没有捷径可走
有句话说,芯片是微观制造工艺的极限
那么将这个极限制造出来的光刻机,有多难非常明显了,而每一纳米的突破,都是极其难得,阿斯麦尔温彼得甚至还表示,中国不太可能独立造出顶尖光刻机
要说最难的就是这3个点了
1、光源我们知道,目前ASML最尖端的就是EUV光刻机了,而其使用的就是极紫外线,能够将光刻技术扩展到32nm以下
然而在EUV光刻机面世之前,一直都是使用的DUV光刻机,使用的是短波紫外线,突破到极紫外线,一共花费了20年的时间才完成,可见对于光源的选择使用,其的难度是非常大的,没有捷径可走
阿斯麦NXE3400型EUV光刻机(0.33 NA) 图源:阿斯麦官网 在本次披露财报时,阿斯麦透露,该公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE:5000光刻机订单,累计订单达到5份
与此同时,该公司还在2022年初收到下一代高数值孔径EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200的首份订单,下单的还是英特尔
期内,该公司共出货82台光刻系统,环比上季度增加3台;其中EUV光刻系统11台,比上个季度减少4台;在所有出货中,73%光刻机被用于逻辑工艺制造,27%的光刻机用于存储芯片生产
随着全球芯片市场出现短缺以后,国产芯片产业链就迎来了大爆发,而我国作为全球第一大的芯片消费市场,每年都要从国外进口超万亿规模的芯片,只要有国内市场加快发展,并努力实现自给自足,那么有这万亿级大市场的支持,我们何愁中国半导体发展不起来呢?不知道对此你是怎么看的呢?
外媒:中国半导体“大势已定”作为我国半导体芯片发展的最前沿阵地,上海“东方芯港”也投入了众多的人力物力资源,在经过众多企业的不断努力以后,我们也终于在光刻机、刻蚀机、光刻胶材料等等领域实现了突破;虽然说我们现在还无法与台积电和三星的5nm工艺制程技术相提并论,对此外媒也纷纷表示:中国半导体的发展也早已经“大势已定”!突破90nm光刻机,可量产14nm芯片如今,上海公布了在集成电路领域取得的一些成果,在90nm光刻机领域已经进行了突破,并能生产14nm芯片;而且在5nm先进的蚀刻机领域也已经有所突破,从目前的发展情况来看,不得不说上海“东方芯港”的发展速度还是比较快的;其中上海微电子已经成功的实现了90nm光刻机的突破,而5nm刻蚀机则由中微公司领头破冰,其生产的5nm蚀刻机甚至已经被台积电所采用;而中芯国际经过这么年时间的发展,其N+1和N+2工艺技术应该也早已经能实现14nm芯片的量产!目前来看,现在中国半导体已经“大势已定”,在这些头部芯片企业的不断努力下,在芯片设计、制造、封装三个环节中,我们已经进行了技术突破,除了光刻机和蚀刻机以外,在芯片设计的EDA软件领域,国内的华大九天也已经宣布可以在28nm提供模拟全流程EDA工具;这也让我们不用担心再被EDA工业软件给卡脖子;而在芯片架构领域,国内的阿里、华为海思都已经成功的打造了开源的开源架构RISC-V,另外,国产龙芯中科也自研了LoongArch指令集架构
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那么这个光刻机到底为什么这么难造呢?光刻机是用来制造芯片的核心装备,而芯片的重要性那就不言而喻了,而没有光刻机,我们就没有办法制造芯片,所以涉及到芯片,那么光刻机就是无法躲开的存在
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这就完了?光刻机的工作就这么简单?古玩市场多少老大爷玩篆刻,那刀工不也响当当?要是这么说,可太看不起芯片了
世界上最小的芯片已经达到5纳米级别,目前世界产量最大的芯片是7纳米级别的,稍微落伍的芯片也是在28纳米级别
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在测试中,进行到第三次曝光时,晶圆的良率已经降低到了一个相当低的值,甚至有时候会低于20%了
据称,目前国内正在研发28nm精度的光刻机,那么经过2次曝光后,能够达到14nm,然后可以尝试性的进行第三次曝光,然后有可能迈入7nm
当然,以上只是猜测,因为精度越高的光刻机,多次曝光的难度也就越高了,一切还得看真机的实测才行
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此前,施赖纳马赫尔曾强调,荷兰不会完全照搬美国的对华政策,会做出自己的权衡判断
施赖纳马赫尔指出荷兰对华出口政策上的考量,她重点着墨于荷兰自身的需求:希望保持技术领先,避免形成战略依赖,避免使用一些不必要的技术
这是作为外贸大臣的责任——必须要对保持贸易开放负责
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ASML首席执行官温彼得表示,中国是全球半导体产业的重要参与者,想要保持半导体供应链的稳定,离不开中国,在对华禁售DUV深紫外光刻机一事上,各方必须保持谨慎
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