上海新阳荷兰光刻机
HDL实现了比传统EBL更高的分辨率和精度
数据显示,光刻胶中的沉积能量不会下降到光束中心的10%,直到径向距离约为4nm
使用HDL,实验团队能够暴露比EBL的10%阈值半径小>10倍的单个原子
这个小得多的曝光区域令人惊讶,因为HDL不使用光学器件,只是将钨金属尖端放置在H钝化硅样品上方约1nm处
非常小巧的产品,出乎意料特别的轻,有一种不能置信的感觉。具体速度还是可以的,质量自然刚刚的,过去一直使用这个品牌,今次也不例外。声音很安静,基本没有振动,当然我有适合的防震设备。很适合外带的小家伙,移动方便。