所以其它厂商,只能另想办法,换道超车,用另外的技术来替代EUV光刻机
目前已经有三大方案,都被认为是可以替代EUV光刻机方案的,并且被大家重视,很多企业更是投入巨资研发,以期有所突破,进而替代EUV光刻机
第一大方案是NIL纳米压印,其原理类似于打印机一样,先在模具上刻上纳米电路的图案,再把这个图压在硅片的感光材料上,同时用紫外线照射,就能完成转印,这种方式可以达到至少2nm的精度
佳能一直非常重视NIL纳米压印技术,甚至在2021年就造出了机器,被铠侠用于NAND闪存制造中,只不过目前精度还不太够,不能替代EUV光刻机