这玩意有多复杂?一台EUV光刻机重达180吨,零部件高达10万多个,超过2公里以上的软管,需要40个集装箱来运输,仅安装调试就需要一年左右
而且85%以上的材料,都来自全球超过5000家供应商
比如它里面就用到了德国的蔡司镜头,日本的特殊复合材料,瑞典的精密机床,美国的先进控制软件、光源等,都是业内顶尖的技术水平
此外,为了保障晶圆图案的质量,光刻机中每一块透镜的位置误差都必须小于1nm,同时还要能尽量消除光损失而产生的热量
玩过单反的朋友,估计都知道镜头设计是多么复杂,更何况光刻机使用的是超大、超多组镜片