EUV有多耗电?由于EUV光源的能源转换效率只有 0.02% 左右,所以输出功率只有250W的EUV光刻机,实际需要0.125万千瓦的电力,耗电量是DUV光刻机的10倍以上
这样下来,一台EUV一年耗电量可达到1000万千瓦时
实用主义,虽然弹出来那种感觉很山寨,但是好歹没什么问题,随便刻录了一张CD,效果很不错!
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为此,台积电也在努力想办法,比如自己去买电厂,解决供电问题,还直接与一些电站签订采购合同,确保电力供应,甚至还不得不将产能转移至美国等地,缓解供电危机,但一年190多亿度电,需要100多亿元的电费,让台积电也是很头痛