光刻机中科院电子所
光刻机巨头阿斯麦CEO:中国不太可能独立造出顶尖光刻机
期内,该公司共出货82台光刻系统,环比上季度增加3台;其中EUV光刻系统11台,比上个季度减少4台;在所有出货中,73%光刻机被用于逻辑工艺制造,27%的光刻机用于存储芯片生产
2021年三季度,美国和日本分别在阿斯麦出货中占比10%和1%,但四季度占比均意外降为0,具体原因尚不清楚
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