一台 EUV 光刻机重达 180 吨,超过 10 万个零件,需要 40 个集装箱运输
中国为什么还造不出最顶级的EUV光刻机很多朋友又会说了,为什么国外可以造出如此顶级的光刻机,中国不可以
ASML能够造出EUV极紫外光刻机,还要多亏了美国
这也是为什么其技术难度高的原因,一个看似简单的原理,在超高精度的制约下需要结合光学 材料 控制 电子 机械化学等最顶尖的技术,才能最终完成这以类人历史上几乎最精密的机械
光刻机的零件90%使用了世界最先进的加工技术,甚至一些接口都要工程师用高精度机械进行打磨,尺寸调整次数更可能高达百万次以上