日本厂商则在低端的KrF、UV(i-line)上有一定优势,特别是最低端的UV光刻机上,占了大头
可见,整个前道光刻机市场,还是ASML说了算,日本厂商,拿走的是ASML看不上的低端市场,而国产连低端市场都抢不到
为何国产光刻机,出货量为0?首先是上海微电子目前最先进的仅为90nm,也就是KrF、UV阶段,处于低端,这里竞争大,有4家厂商在竞争,ASML、佳能、尼康都有
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