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在光刻机的核心部件激光光刻仪器方面,俄罗斯曾独立开辟过氖氦激光发射器,与西方国家普遍采用的二氧化碳激光器走出了一条完全不同的道路,于是俄罗斯想要独立研制光刻机其实并不是一件难事,相反俄罗斯目前最缺的却是时间和经济发展,所以这让西方国家更加扩大了对俄罗斯的制裁力度,以压迫其放弃当前的科研计划
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