其中ASML是最牛的, 特别是EUV光刻机,仅ASML一家厂商能制,可以说ASML卡住了全球先进晶圆厂的脖子
但事实上,除了EUV光刻外,ASML在DUV领域的光刻机,也是一顶一的,全球没有对手
如上图所示,这是机构统计的2021年全球半导体前道光刻机销售情况表,上面列出了3大巨头,在各种光刻机上面的销售数据
而DUV光刻机又分为ArFi光刻机,用于45-7nm;而ArF Dry用于65nm,还有KrF用于180nm等等
目前全球的光刻机厂商,真不多,特别是用于芯片制造的,也就是前道光刻机,全球也就四家,分别是ASML、日本的佳能、尼康、上海微电子