众所周知,在当前的芯片制造环节中,光刻是其中一个必不可少的重要环节
而光刻就需要用到光刻机,而7nm及以下芯片的光刻时,就需要用到EUV光刻机
EUV光刻机非常复杂,全球只有ASML一家企业能够生产
同时EUV光刻机成本非常高,一台EUV光刻机售价超过10亿元,最新的0.55数值孔径的EUV光刻机,价格更是超过3亿美元(20亿元)
EBL电子束光刻机,大家可能熟悉了,前段时间美国公司Zyvex,就搞出了一台电子束光刻机(EBL),并制造了768皮米(0.768nm),不过这种光刻方式速度慢,不可能用于在规模芯片制造