数据显示,全球一共售出478台前道光刻机,被ASML、尼康、佳能瓜分了
其中ASML拿下了其中的309台,占比为65%,接近三分之二的市场
而尼康为6%,佳能为29%
但是在高端EUV光刻机领域,ASML占据了100%的市场,而在次高端的在ArFi和ArF光刻机领域,也分别占据96%和88%的市场
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而DUV光刻机又分为ArFi光刻机,用于45-7nm;而ArF Dry用于65nm,还有KrF用于180nm等等