光刻机的工作过程示意图第二就是工作台的高精度移动,因为要配合芯片加工的情况,工作台在工作的时候必须要保持同步精准,不然即使光刻技术没问题,也会因为细小的偏差功亏一篑
此外还有耗电、反射镜等高新技术问题,都是光刻机能否顺利制造的关键
首先EUV光刻机的总重量达到了180吨,需要几十个集装箱运输,并且即使运到了地点也要准备一年的时间等待安装调试
可以看出,光刻机绝对不是大家想象中的“小玩意儿”,它是非常庞大和复杂的
每一个零部件的调试都至关重要目前的高端光刻机的制造主要面对几个技术难题,第一就是解决“光源”的问题