此外,为了保障晶圆图案的质量,光刻机中每一块透镜的位置误差都必须小于1nm,同时还要能尽量消除光损失而产生的热量
玩过单反的朋友,估计都知道镜头设计是多么复杂,更何况光刻机使用的是超大、超多组镜片
在工艺上,光刻机所要求的镜面光洁度非常高,需要采用精度最高的打磨机和最细的镜头磨料,还需要顶级的计算机数控光学表面成形技术相关的技师
1.2亿美金一台!EUV光刻机到底难在哪里?
给别人组装新机安装的刻录机,这次买配件全是在京东六一八做活动时买的价格很实惠。当然先锋刻录机的质量也是杠杠的,使用效果让人很满意,它是我给别人组装新机的不二之选。