已经实际应用
很好。安装好后一点就亮!先锋的就是好用!不挑碟的机子!一直信赖着。还以为它不会出新产品了呢!?赞!
而超分辨率光刻机在原理上突破分辨力衍射的极限,与ASML的技术路线完全不同,不依赖光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局
当然,研制出这款超分辨率光刻机,并不意味着我们已经实现了弯道超车,否则也不至于出现华为无法获得高端芯片的情况
总之,这款表面等离子体超分辨光刻装备的成功研发,打破了传统光刻机的路线格局,形成一条全新的纳米光学光刻技术路线,绕开了国外相关领域的技术壁垒,具有完全自主知识产权,其关键技术指标达到超分辨成像光刻领域的国际领先水平