具体是将入射光照射在透镜表面的小探针上,然后探针表面的电子就会有序的震荡,从而激发产生波长非常短的等离子体,然后在光刻胶上刻出非常小的图形
而ASML的光刻机,是将激光束经过一些列反射整形后,过滤掉衍射,然后投射经过光刻模板,再投射到硅片上
读盘速度:十分快 读盘声音:小 稳定性能:十分不错 轻薄程度:刚刚好 外形外观:美观 产品包装:很好
因为以现有的技术能力,这款光刻机只能做周期的线条和点阵,还是无法制作复杂的IC需要的图形的
同时,它还有一个显著的缺点,就是聚焦的面积非常小,属于接触式光刻,易产生缺陷,并且因为是直写式光刻,所以生产效率很低