先是中芯国际正常下单的EUV光刻机的交付时间不断推迟,直到今天依然没有交付,EUV光刻机也形成了事实上的“断供”;其后一直在正常交付的DUV光刻机成为了新的目标,多家外媒报道美国政府正在向ASML施压要求不准继续向中国销售DUV光刻机
我们国家的光刻机技术也就此停留在193纳米技术节点之上
02专项但是随着国际形势的进一步变化,自1992年开始,各种高端技术和设备的进口开始缩减,对于光刻机的研发也重新被提上日程
DUV光刻机也将“断供”但是在2018年之前所有的光刻机都可以买到,因此国内光刻机的研发虽然在稳步进行,但是却缺乏紧迫性