国内有科技企业公布了EUV光刻机专利,热闹了几天,然而仔细想来,这专利恐怕对于中国光刻机产业影响有限,离量产依然很远,就如此前的石墨烯专利一样
EUV光刻机可谓是科技行业的皇冠,它集中了全球诸多科技的精华,ASML的EUV光刻机需要大约10万个零部件,由德国、美国、日本等诸多国家的大约5000家企业供应相关的元件,可见它的高度复杂性
等离子刻蚀机 光刻机
对于光刻机行业也是类似,当前中国最应该也有希望的是先搞定14nm、28nm光刻机,将这些先进工艺实现完全国产化,夯实光刻机产业链,然后再往更先进的EUV光刻机前进,要不然没有完善的光刻机产业链,即使有EUV光刻机专利也无法生产出EUV光刻机产品