非euv光刻机什么意思
二是找到能够一批上、下游都能够替代的厂商,这就更加困难了,所以其它的光刻机企业,在EUV这个赛道上,是不太可能与ASML竞争的,除非换赛道,以另外一种技术试
目前佳能是押宝纳米压印光刻(NIL)技术,而美国有企业在在搞电子束光刻机(EBL),还有企业在研究直接自组装(DSA)光刻,X-射线光刻等,都是绕开EUV技术
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